電子廠無(wú)塵車(chē)間為什么還要恒溫恒濕空調(diào)
“隨著人們生活質(zhì)量的提高，對(duì)其生產(chǎn)質(zhì)量的要求也越來(lái)越嚴(yán)格。電子廠等行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間建設(shè)規(guī)劃主要靠對(duì)靜電的控制：高濕度實(shí)際上 減少粉塵車(chē)間和潔凈室表面的靜電荷積累。較低的濕度更適合電荷積累，成為潛在的靜電放電破壞源。

 當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始 迅速消散，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣子或未接地表面長(zhǎng)期持續(xù)存在。

 相對(duì)濕度在35%和40%之間可以視為 令人滿意 作為一種折衷，半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間和潔凈室一般使用額外的控制裝置來(lái)限制靜電荷的積累。 所有反應(yīng)，包括腐蝕過(guò)程，都會(huì)隨著相對(duì)濕度的增加而增加。 所有接觸無(wú)塵車(chē)間和潔凈室周?chē)目諝獗砻嫜杆俦恢辽僖粚訂螌铀采w。 當(dāng)這些表面由可與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度會(huì)加速反應(yīng)。 幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成保護(hù)性氧化物，防止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)； 但在另一種情況下，例如氧化銅，它沒(méi)有保護(hù)能力。 因此，在高濕度環(huán)境中，銅表面更容易受到腐蝕。  

 總結(jié) 電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間的溫濕度控制主要是根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程的要求：（下面我們舉例說(shuō)明 )

 例1：

 在精密加工和測(cè)量應(yīng)用中，為了防止熱膨脹引起的誤差，工件必須保持在一定的溫度。 工件溫度的允許波動(dòng)范圍應(yīng)根據(jù)加工精度確定。 例如，在恒溫室中長(zhǎng)度為500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺，其線間允許公差為2um，其中l(wèi)um為尺溫變化引起的變形誤差，另外1um為加工和 測(cè)量誤差0.1um相當(dāng)于尺溫的變化=0.20C[a為尺的線膨脹系數(shù)，取10/um/(m?K)；  l為尺長(zhǎng)，m]，因此工件的溫度變化必須在范圍內(nèi)。  

 但由于工件測(cè)量?jī)x器具有一定的熱慣性，空氣溫度的波動(dòng)在傳遞到工件后會(huì)衰減。 在設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí)，一般都是以恒定的環(huán)境空氣溫度為基礎(chǔ)，因此相應(yīng)的環(huán)境溫度精度工件所允許的溫度精度要低于工件所允許的溫度精度。 因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動(dòng)控制時(shí)，必須考慮工件恒溫恒濕車(chē)間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自動(dòng)控制系統(tǒng)之間的動(dòng)態(tài)特性。

 例2：

是電子行業(yè)制造車(chē)間最重要的產(chǎn)生靜電的地方。 通常靜電會(huì)使產(chǎn)品短路甚至導(dǎo)致員工昏倒。 因此，電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間的相對(duì)濕度不應(yīng)低于30%，這樣可以減少靜電的產(chǎn)生。 一般建議無(wú)塵車(chē)間防靜電區(qū)的相對(duì)濕度不低于50%。 在過(guò)于干燥的空氣中容易積灰。 電子廠無(wú)塵車(chē)間如無(wú)特殊要求，溫度控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在55-60%RH。 在這種環(huán)境下，人會(huì)感到舒適，靜電也消失了。  

 例3：

 SMT車(chē)間對(duì)溫濕度有明確的要求：一是主要是為了讓錫膏在更好的環(huán)境下工作 . 溫度會(huì)影響錫膏的活性，對(duì)里面加入的助焊劑相關(guān)溶劑的活性也會(huì)有一定的影響。 高溫會(huì)增加其活性，最終影響絲印和回流的效果。 容易出現(xiàn)虛焊、焊點(diǎn)無(wú)光澤等現(xiàn)象。 濕度會(huì)導(dǎo)致焊膏吸收空氣中的水分。 如果吸收了過(guò)多的水分，則會(huì)在回流、飛濺、連續(xù)焊接等過(guò)程中造成空氣和空氣。 因此，SMT恒溫恒濕車(chē)間的溫濕度標(biāo)準(zhǔn)：溫度：24±2℃，濕度：50±10%。  

 例4：

 在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過(guò)程中，作為掩膜材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù) 差異化要求越來(lái)越小。 一塊直徑為100um的硅片，溫度每升高1度就會(huì)產(chǎn)生0.24um的線膨脹。 因此，它必須具有±0.1度的恒定溫度。 同時(shí)，一般要求濕度值低一些，因?yàn)橐粋€(gè)人出汗后，產(chǎn)品會(huì)受到污染，特別是對(duì)于怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這樣的車(chē)間不要超過(guò)25攝氏度。 濕度過(guò)高會(huì)導(dǎo)致更多問(wèn)題。 當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁會(huì)出現(xiàn)結(jié)露現(xiàn)象。 如果發(fā)生在精密設(shè)備或電路中，會(huì)引起各種事故。 相對(duì)濕度50%時(shí)容易生銹。  

 所以無(wú)塵車(chē)間的溫濕度控制是由其生產(chǎn)工藝決定的，但其精度還取決于房間的大小，如測(cè)量室、光柵分劃室、精密儀器制造 和裝配車(chē)間等。前兩個(gè)是小房間，對(duì)空調(diào)精度要求高（這里主要指溫度和濕度）； 后兩者是較大的生產(chǎn)車(chē)間，對(duì)溫濕度精度要求較低。 因此，房間的大小也將決定恒溫恒濕車(chē)間的精度。  
 

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